產(chǎn)品簡介

沈陽科儀高真空脈沖激光濺射薄膜沉積系統(tǒng)--PLD450

真空室結構:球形前開門

真空室尺寸:450mm

極限真空度:≤6.67E-6Pa

沉積源:2英寸靶材，4個

樣品尺寸，溫度:2英寸，1片，最高800℃C

占地面積(長x寬x高):約1.8米x0.97米x1.9米

電控描述:全自動

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